Horiba微型殘余氣體分析儀MICROPOLE RGA是一種目前市面上*小的質量能譜儀分析系統。通過享有磚利的小型化設計將四電極質量過濾器進行排列，從而獲得了上乘的緊湊尺寸。與傳統的質量能譜儀相比，這種排列方式可以提供相近或者更好的靈敏度，但只占傳統質量能譜儀的一小部分體積。殘余氣體分析儀MICROPOLE RGA與傳統質量能譜儀相比，本系統可以在更高的壓力環境下使用，因此，它可以減少原來需要另外配置的差壓泵設備根據可以讓用戶直接更替傳感器的轉移標準，我們的傳感器已經在工廠進行過預先調諧和校準處理，無需專業的技術性再校準當你使用帶有3.5寸LCD顯示屏的監測控制器時，不經過電腦進行數據提取也是可行的。升級到八電極系統后，它可以通過RS485或者以太網通訊進行網絡控制。

產品描述

商品詳情

殘余氣體分析儀 MICROPOLE系統RGA

-小型質量能譜儀

概要
Horiba微型殘余氣體分析儀MICROPOLE RGA是一種目前市面上*小的質量能譜儀分析系統。通過享有磚利的小型化設計將四電極質量過濾器進行排列，從而獲得了上乘的緊湊尺寸。與傳統的質量能譜儀相比，這種排列方式可以提供相近或者更好的靈敏度，但只占傳統質量能譜儀的一小部分體積。
殘余氣體分析儀MICROPOLE RGA與傳統質量能譜儀相比，本系統可以在更高的壓力環境下使用，因此，它可以減少原來需要另外配置的差壓泵設備根據可以讓用戶直接更替傳感器的轉移標準，我們的傳感器已經在工廠進行過預先調諧和校準處理，無需專業的技術性再校準當你使用帶有3.5寸LCD顯示屏的監測控制器時，不經過電腦進行數據提取也是可行的。升級到八電極系統后，它可以通過RS485或者以太網通訊進行網絡控制。

特征

極為緊湊的安裝尺寸和極輕的重量

與傳統的殘余氣體分析儀相比，它只有其1/20的尺寸，這使它非常容易整合到您的系統之中。

高性能

在只占傳統電極一小部分的體積里，微型化的九電極排列提供了優越的靈敏度。

高壓力條件下可使用

可以在高于0.9Pa(7mTorr, 9 x 10^-3mbar)的壓力條件下使用，在許多需要昂貴真空泵的應用當中，可以簡化或者省略泵的使用。

已經校準過的可替換傳感器接頭

此傳感器接頭在出貨之前已經進行過預調諧和校準。允許客戶自己在現場進行傳感器的更換而不需要任何微調或者技術性專家鑒定。

網絡傳感器

升級到八電極后，可以通過一臺使用RS485接口的電腦進行監測。此系統也可以通過以太網進行遠程監測。

用戶友好軟件

微電極掃描軟件允許用戶用各種不同的方式監測氣體的部分壓力，如趨勢曲線圖，相似性曲線圖，泄露模式，條形統計圖，3D等

監測控制

可選擇性的監測控制器可以直接安裝在反應室的光譜發生器上，使用戶無需電腦就可以監測真空反應室。

■測量原理

殘余氣體分析儀是由一個離子源，一個質量分光儀和一個監測單元組成。當殘余氣體與從高溫金屬絲釋放的熱電子碰撞后，它將被離子化。并且，這些因此產生的離子會加速會合到質量能譜儀上。在質量能譜儀上內，直流和交流電壓被應用到四個圓柱形的電極上（方形排列），從而讓離子因質量的不同而被分離開。這些被分開的離子通過法拉第杯作為直流電被發現。這種離子電流是與殘余氣體的質量成比例的。

■微電極分析儀

使用微電極的特色是什么呢？系統特有的只是微電極嗎？分析儀（MPA），一個包含九個方形電極區的分組，可以提供先進的高精度光信息處理技術和玻璃/金屬結合技術。MPA的發展催生出了世界上*小的殘余氣體分析儀，并且與傳統巨大的質量能譜儀相比，提供了相同或者更好的靈敏度。此分析儀是一種插入式部件。它是一個已經被校準過的局部壓力傳感器，并且可以提供完全和局部的壓力測量。