- 如果您對該產(chǎn)品感興趣的話，可以
- 產(chǎn)品名稱：MV-2000混合注入型液體汽化器 用于易熱解的液體
- 產(chǎn)品型號：
- 產(chǎn)品展商：日本HORIBA
- 產(chǎn)品文檔：無相關文檔
簡單介紹
HORIBA的液體源汽化系統(tǒng)包括三種不同類型的汽化方式：直接注入式、混合注入式、直接加熱式。我們的產(chǎn)品嚴格遵守半導體市場不斷更新的要求。我們汽化原理制作產(chǎn)品，比如壓差監(jiān)測法或HORIBA更早前開發(fā)的應用于液體流量計的冷卻法，以及螺旋式的混合注入系統(tǒng)。我們多種不同的汽化系統(tǒng)以及流量控制器可提供您多種不同的選擇方式。
HORIBA還擁有高精度、高速數(shù)字流量響應的液體流量控制器和液體流量計。
HORIBA對于以下幾種液體材料有著豐富的經(jīng)驗
產(chǎn)品描述
商品詳情
混合注入型液體汽化器 MV-2000
用于易熱解的液體
概要
Horiba汽化器 MV-2000系列實現(xiàn)高效的汽化，即使在低溫情況下也可通過螺旋式加熱達到汽化效果。此種汽化方式適用于半導體制造工藝，諸如“High-k”——一種易熱解的液體源
特征
-
以螺旋加熱式完成穩(wěn)定的低溫汽化
-
大流量汽化（增加穩(wěn)定性數(shù)據(jù)）
-
可汽化易熱解的液體源
-
技術參數(shù)
|
型號
|
MV-2000
|
|
液體名稱
|
所有液體，除對不銹鋼有腐蝕的(如. HCl, HF)
|
|
設定溫度
|
取決于汽化條件(控制閥 : 上限140 ?C ，汽化器 : 上限200 ?C)
|
|
泄露率
|
≤ 1 × 10-8 Pa·m3 /s (He)
|
|
內(nèi)部泄露率
|
≤ 1 × 10-6 Pa·m3 /s (He)
|
|
接液材質(zhì)
|
SUS316L , PFA
|
|
溫度傳感器
|
Thermocouple type K (CA)
|
|
耐壓
|
1MPa (G)
|
|
接口尺寸
|
液體入口: 1/8”MVCR
載氣入口: 1/4 FVCR
氣體出口: 1/2 MVCR
|
|
操作溫
|
15 - 50 ?C
|
|
可選項
|
閥門(內(nèi)漏率: ≤ 1×10-9 Pa · m3 / s(He) )
|
-
汽化器產(chǎn)生的氣體流量取決于液體的特性，汽化條件等多種參數(shù)。
-
汽化器內(nèi)有加熱器、溫度傳感器、溫度開關。
液體源汽化系統(tǒng)
HORIBA的液體源汽化系統(tǒng)包括三種不同類型的汽化方式：直接注入式、混合注入式、直接加熱式。我們的產(chǎn)品嚴格遵守半導體市場不斷更新的要求。我們利用監(jiān)測/汽化原理制作產(chǎn)品，比如壓差監(jiān)測法或HORIBA更早前開發(fā)的應用于液體流量計的冷卻法，以及螺旋式的混合注入系統(tǒng)。我們多種不同的汽化系統(tǒng)以及流量控制器可提供您多種不同的選擇方式。
HORIBA還擁有高精度、高速數(shù)字流量響應的液體流量控制器和液體流量計。
HORIBA對于以下幾種液體材料有著豐富的經(jīng)驗
|
Acetic Acid
|
Benzene
|
B(OCH3)3
|
BTBAS
|
C6F6
|
|
Cyclohexane
|
Decyl-TMOS
|
DPM
|
DPMS
|
Ethanol
|
|
Ge(OCH3)4
|
GeCl4
|
H2O
|
HCD
|
HDFDA
|
|
HMDS
|
HMDSO
|
i-Octane
|
IPA
|
Me-Cyclohexane
|
|
Methanol
|
n-Octane
|
OMCTS
|
OMTS
|
P(OCH3)3
|
|
PO(OCH3)3
|
SAM24
|
Si(CH3)4
|
Si(OCH3)4
|
SiCH3Cl3
|
|
SiCl4
|
SiH(OCH3)3
|
SiHCl3
|
Ta(OC2H5)5
|
TBTDETa
|
|
TDEAHf
|
TDEAT
|
TDMAS
|
TDMAT
|
TEB
|
|
TEMAHf
|
TEMAZr
|
TEOS
|
TEPO
|
THF
|
|
Ti(O-iPr)4
|
TiCl4
|
TMCTS
|
Toluene
|
1,3-DMA
|