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產品名稱：LF-F 微小液體質量流量計 LV-F質量流量控制器
產品型號：
產品展商：日本HORIBA
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簡單介紹

Horiba 微小液體質量流量計LF-F 、LV-F Horiba 微小液體質量流量計LF-F 質量流量控制器LV-F，量程范圍0.02g/min--100g/min

產品描述

商品詳情

Horiba 微小液體質量流量計LF-F
質量流量控制器LV-F

暢銷型號：LV-F20、LV-F30、LV-F40、LV-F50；LF-F20M-A、LF-F30M-A、LF-F40M-A
Horiba微小液體質量流量計/質量流量控制器LF-F/LV-F系列

搭載有世界上冷卻檢測方式的流量傳感器

特征

通過采用數字回路，實現了高精度?高速響應。

可以進行微升以上的微小流量控制。

可以進行低沸點液體材料、高粘度液體材料的精密流體控制。

超潔凈類型

選型要求：按以下規格確認型號，并請提供參數：介質名稱、量程、接口尺寸。

規格

名稱	質量流量控制器
型號	LV-F20 (PO/MO)	LV-F30 (PO/MO)	LV-F40 (PO/MO)	LV-F50 (PO/MO)	LV-F60 (PO/MO)
全標度流量(g/min)	0.02/0.05/0.1	0.2/0.5	1/2/5	10/20	50/100
檢測控制范圍	5?100% F.S.
對象液體種類*1	可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。
液體粘度*2	低于 0.01 Pa·s (10cp)
精度*3	±1% F.S.
直線性*3	±0.5% F.S.
重復性*3	±0.5% F.S.
響應精度	3秒以內(T98)		2秒以內(T98)
使用環境溫度*4	5?50℃(15?45℃精度的確保)
溫度影響Span	±0.1%F.S./℃
工作差壓值*5	0.05?0.3MPa
耐壓	1MPa
壓力損失	ー
流量設定信號	模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數字式：RS485(F-Net通信協議)
流量輸出信號	模擬：0?5 VDC(*小負荷電阻2kΩ)數字式：RS485(F-Net通信協議)
驅動電源	+15 V ±5%, 200 mA　-15 V ±5%, 200 mA
外部泄漏規格	PO類型：1×10-8Pa?m3/s (He) MO類型：5×10-12Pa?m3/s (He)
接液部材質	PO類型：SUS316L，Ni，PTFE，PFA　MO類型：SUS316L，Ni
標準接頭	1/16”，1/8”卡套； 1/8”VCR			1/8”SWL類型，1/8”VCR類型	1/4”SWL類型1/4”VCR類型

名稱	質量流量計
型號	LF-F20M-A	LF-F30M-A	LF-F40M-A	LF-F50M-A	LF-F60M-A
全標度流量(g/min)	0.02/0.05/0.1	0.2/0.5	1/2/5	10/20	50/100
檢測控制范圍	5?100% F.S.
對象液體種類*1	可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。
液體粘度*2	不高于 0.1 Pa·s (100cp)
精度*3	±1% F.S.
直線性*3	±0.5% F.S.
重復性*3	±0.5% F.S.
響應精度	3秒以內(T98)		2秒以內(T98)
使用環境溫度*4	5?50℃(15?45℃精度的確保)
溫度影響Span	±0.1%F.S./℃
工作差壓值值*5	不高于5MPa (視為流量計) / 50?300kPa (with piezo控制閥)
耐壓	10MPa (視為流量計)
壓力損失	不高于 500Pa
流量設定信號	模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數字式：RS485(F-Net通信協議)
流量輸出信號	模擬：0?5 VDC ；數字式：RS485(F-Net通信協議)
驅動電源	+15 V ±5%, 200 mA　-15 V ±5%, 200 mA
外部泄漏規格	5×10-12Pa·m3/s (He)
接液部材質	SUS316L, Ni
標準接頭	1/16”，1/8”SWL類型，1/8”VCR類型			1/8”SWL類型，1/8”VCR類型	1/4”SWL類型1/4”VCR類型

*1：LF-F/LV-F系列質量流量控制器利用1種液體進行了流量校正(請預先指定所使用的液體。)
?不能檢測含有固體物的液體。
?如果混合液中混合比會發生變化時，請預先進行咨詢協商。
?LV-F系列質量流量控制器如果在對象液體中含有粒子等時，請在一次端(入口端)安裝0.2μm(Abs.)以下的過濾器。
*2：LF-F類型質量流量控制器根據流量量程，可以適用到 *大值，0.1Pa?s。有關高粘度的液體請預先進行咨詢協商。
*3：以SEMI E56-1296為準。
*4：進行測量?控制的液體溫度如果低于環境溫度時，使用時請把溫差控制在10℃以內；如果高于液體溫度時，使用時請把溫差控制在3℃以內。
*5：這是在粘度0.001Pa?s中的F.S.流量值。

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LF-F 微小液體質量流量計 LV-F質量流量控制器

Horiba 微小液體質量流量計LF-F 、LV-F Horiba 微小液體質量流量計LF-F 質量流量控制器LV-F，量程范圍0.02g/min--100g/min

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