低成本數字式質量流量控制器S600

多種通訊：模擬輸出、數字通訊：RS485通訊或者Profibus。
電源選擇：DC24V、±15V ;
密封方式：橡膠密封、金屬密封
  
    S600熱式質量流量控制器用于高性價比，是horiba厚禮博的明星產品。流量范圍10sccm-200SLM。

能夠在較大的量程范圍內在線實時地控制氣流質量流量。利用氣流流過不銹鋼毛細管，改變毛細管溫度分布，造成上下游溫
差方法，而測得氣體質量流量；不同于測壓力或測體積方法等類別流量計，其流
量精度不受氣體壓力、環境溫度影響。上下游溫差測量電路信號實時反映氣流瞬
時流量，并通過PID電路實時控制比例電磁閥控制流量，所以特別適用于過
程控制中在線實時的氣體流量的測量和控制。

☆具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應速度快、過沖小等特點。
☆耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。
氣阻較小，工作壓力范圍寬。

☆閥體采用不銹鋼（316L）結構，氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐蝕性強。
線路板、閥體、彈**、精密電阻和電容等為重要零部件，均執行嚴格的入廠標準。
☆可任意角度安裝。
☆電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統或自動控制系統配合工作。
配合MT-50系列流量顯示儀，可對氣流的瞬時流量進行測量和計量。

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