壓力不敏感型高性能質量流量控制器D500

暢銷型號：D512MG、D522MG

流量范圍100sccm-10SLM，精度±1%

概要

壓力不敏感型高性能質量流量控制器: D500
高穩定性質量流量模塊——氣體流量控制不受上游和下游壓力波動差影響、PI（壓力不敏感型）質量流量模塊

特征

·         壓力不敏感性
高性能的壓力不敏感型功能可有效簡化氣體供應系統
·         多量程,多氣體,多種壓力的解決方案
新功能允許用戶改變氣體種類、滿量程內的流量,供應壓力范圍
·         G-LIFE 自我檢測功能(氣體定律檢查集流節流方程)
先進G-Life功能允許操作人員進行流量計自我監測,通常會在三秒內提高生產能力
·         高精度
先進的三維調節已改進工藝氣體的流量精度
·         快速響應
響應速度＜0.8秒
已實現精準且穩定的流量控制
·         動態范圍
控制范圍：0.2% F.S. ~ 100% F.S.